Inline Magnetron Sputtering nidaamka
Mashiinka dahaarka xadhkaha ee magnetron inta badan waa DC (ama MF) daahan magnetron ah waxaa lagu hagaajin karaa bartilmaameedyo kala duwan, sida: naxaas, titanium, chromium, birta aan fiicnayn, nikkel iyo walxo kale oo bir ah oo lagu dabooli karo iyadoo la adeegsanayo habka xajinta. waxay hagaajin kartaa adhesion filimka, taranka, cufnaanta, lebbiska iyo sifooyinka kale.
- a.Tilmaamaha aasaasiga ah iyo xuduudaha
- b.qaab-dhismeedka khadka toosan ayaa la xaqiijin karaa isla mar ahaantaana lagu dahaadhay hal dhinac
- c.waxtarka wax-soo-saarka, xawaaraha ugu dhaqsaha badan ee ilaa 1 min / garaac
- d.naqshadeynta modular, dayactir fudud
- e.qaan-gaarnimada habka daminta, dhalidda sare
- f.Dc magnetron cathodes way kala duwanaan kartaa iyadoo ku xiran shuruudaha macaamiisha
- g.Nidaamka faakuumku wuxuu ka kooban yahay bamka farsamada, tuubooyinka xididada, bambooyinka faafinta (matoorka molecular) Halabuurka
- h.Cabbirka jidhka laynku wuu kala duwanaan karaa iyadoo ku xidhan shuruudaha macmiilka
- 1) Qalabka qolka faakuumka ee loo isticmaalo SUS304, nadiifinta daawaynta qolka faakuumka, gidaarka dibadda ee buufinaya kuulyada polishing.
- 2) Isticmaalka waalka albaabka madax banaan inta u dhaxaysa qolka faakuumka - flapper valve marka laga reebo, si wax ku ool ah u gooyn kartaa, dejin kartaa habka gaaska.Waqtigan xaadirka ah shirkadeena waxay qabataa nashqadda waalka flapper-ka, waxay si fiican u xidhaa, uga adkeyd marka loo eego kan hadda jira.
- 3) Gudbintu waxay isticmaashaa hagaha magnetic, ilaalinta xasiloonida wadista.Xawaar kasta oo ka mid ah xariiqda wax soo saarka oo dhan iyadoo la adeegsanayo wadista matoorka VVVF, xawaaraha orodka waa la hagaajin karaa.
- 4) Nidaamka Xakamaynta Korantada: Shaashadda taabashada iyo xakamaynta tooska ah ee PLC, wada hadalka mashiinka-mashiinka si loo gaaro nidaamka soo-bandhigidda xogta, cabbirrada hawlgalka iyo tignoolajiyada xakamaynta
- 1) Cadaadiska faakuumka ugu dambeeya: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) celceliska wareegga wax soo saarka: sida ku cad alaabta la go'aamiyay
- 3) Cabbirka haysta substrate-ka: waxaa loo habeyn karaa iyadoo loo eegayo shuruudaha
- 4) Midnimada filimka: ± 3% tignoolajiyada goobta mobilada ee horumarsan ayaa si weyn u xoojisay isticmaalka bartilmaameedka
- Naqshadeynta kuleyliyaha qaybsan ayaa ku habboon habka hagaajinta.
Halkan ku qor fariintaada oo noo soo dir
